发明名称 |
一种台阶模板的混合制作工艺 |
摘要 |
一种台阶模板的混合制作工艺。其制作工艺流程如下:电铸第一电铸层:芯模处理→前处理(除油、酸洗、喷砂)→贴膜1→曝光1→单面显影1→电铸1→褪膜→剥离;蚀刻印刷面形成凹陷台阶(downstep)区域:印刷面贴膜→曝光2→单面显影2→蚀刻(印刷面形成downstep区域);激光切割凹陷区域(downstep)区域开口图形:具有凹陷区域(downstep)的电铸模板→激光切割凹陷区域(downstep)区域开口图形→后续处理。由此工艺制备,能够制作印刷面具有凹陷区域(downstep)的模板;无论是基板图形区域还是凹陷区域(downstep)图形区域的开口质量好,孔壁光滑,无毛刺;板面质量好,表面一级光亮,无针孔、麻点;凹陷区域(downstep)图形开口区域与电铸层的开口区域的位置精度高;电铸模板图形区域的厚度均匀性好。 |
申请公布号 |
CN103203953A |
申请公布日期 |
2013.07.17 |
申请号 |
CN201210010725.X |
申请日期 |
2012.01.16 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;赵录军;王峰 |
分类号 |
B41C1/12(2006.01)I;B41N1/04(2006.01)I;B41N3/03(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
B41C1/12(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种台阶模板的混合制作工艺,其制作工艺流程如下:电铸第一电铸层:芯模处理→前处理(除油、酸洗、喷砂)→贴膜1→曝光1→单面显影1→电铸1→褪膜→剥离;蚀刻印刷面形成凹陷区域(down step)区域:印刷面贴膜→曝光2→单面显影2→蚀刻(印刷面形成凹陷区域(down step)区域); 激光切割凹陷区域(down step)区域开口图形:具有凹陷区域(down step)的电铸模板→激光切割凹陷区域(down step)区域开口图形→后续处理。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |