一种用于低温超声阳极键合装置中的玻璃片夹持器

摘要

一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的玻璃片夹持器，该玻璃片夹持器由高压气体接头，第一夹持片，第一预紧弹簧，第一预紧片，第一预紧螺钉，第二夹持片，第二预紧弹簧，第二预紧片，第二预紧螺钉组成，本发明的玻璃片夹持器结构简单，在保证了玻璃片的夹持强度的同时，可以多方位地调整夹持力。

主权项

一种用于硅片与玻璃片的低温超声阳极键合的玻璃片夹持器，所述玻璃片夹持器(4)由高压气体接头(4‑1)，第一夹持片(4‑2)，第一预紧弹簧(4‑3)，第一预紧片(4‑4)，第一预紧螺钉(4‑5)，第二夹持片(4‑6)，第二预紧弹簧(4‑7)，第二预紧片(4‑8)，第二预紧螺钉(4‑9)组成，第一夹持片(4‑2)通过第一预紧弹簧(4‑3)与第一预紧片(4‑4)相连，第一预紧螺钉(4‑5)顶住第一预紧片(4‑4)，第二夹持片(4‑6)通过第二预紧弹簧(4‑7)与第二预紧片(4‑8)相连，第二预紧螺钉(4‑9)顶住第二预紧片(4‑8)。