蒸镀掩模板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种蒸镀掩模板的制造方法，依次经过芯模前处理、贴膜、曝光、显影、电铸、后处理、二次贴膜、曝光、显影、二次电铸、褪膜、水洗、干燥、剥离等步骤。本发明还涉及一种蒸镀掩模板，其特征在于，包括第一电铸层和第二电铸层，所述第一电铸层的小开口小于所述第二电铸层的大开口。通过本发明制造的掩模板能够保证电铸掩模板蒸镀过程中不变形，并能提高焊接性能；在传统掩模板上加厚一层，既不影响蒸镀中颗粒沉积效果，同时又起到加固作用，提高位置精度。

主权项

一种蒸镀掩模板的制造方法，其特征在于，分两次电铸该种掩模板。