与阳极夹一起使用的导电带以及阳极夹

摘要

一种与阳极夹一起使用的导电带，用于向阳极供应电流，所述阳极用于电镀比如半导体片的基片表面。所述阳极和基片在电镀装置的电镀槽内被垂直布置以彼此面对。所述导电带包括能够接触阳极的外周边缘并夹持该阳极的带。

主权项

一种与阳极夹一起使用的、向阳极供应电流的导电带，所述导电带由导电材料构成，所述阳极和基片在电镀装置的电镀槽内被垂直布置以彼此面对，所述导电带包括：包括采用圆环形式的带状薄板的带，所述带能够接触阳极的基本整个外周边缘并夹持所述阳极；被螺栓和螺母彼此紧固以夹持阳极的相对端部，所述螺栓从限定在所述相对端部中的插入孔中穿过插入用于紧固所述阳极，所述相对端部从所述带状薄板径向向外被弯折基本90度角，其中所述相对端部中的一个端部比另一个端部的长度长并且具有限定在所述一个端部中的缺口；和被另一螺栓和螺母固定到所述相对端部中的较长端部的导电支架，所述另一螺栓从限定在所述较长端部中的缺口穿过插入，所述导电支架具有用于从电镀电源给所述阳极供应电流的触点。