蒸气产生装置及蒸镀装置

摘要

形成膜质良好的有机薄膜。本发明的蒸气产生装置(20)具有蒸发室(21)、吐出头(35)、箱(31)。蒸镀材料(39)为液状，容纳在箱(31)中，从箱(31)将蒸镀材料(39)向吐出头(35)供给。吐出头(35)将供给至内部的蒸镀材料(39)从吐出口(38)吐出，配置在蒸发室(21)内部的加热部件(25)。吐出头(35)正确地供给必要量的蒸镀材料(39)。由于仅加热必要量的蒸镀材料(39)，因而蒸镀材料(39)不劣化，形成膜质良好的有机薄膜。

主权项

一种蒸镀装置，具有：蒸发室，由加热机构加热；吐出室，与所述蒸发室的顶板的开口连通；供给装置，将含有有机材料的液状的蒸镀材料供给至所述蒸发室内；放出装置，经由配管而与所述蒸发室连接，并被供给有在所述蒸发室内产生的蒸气；真空槽，从所述放出装置将所述蒸气放出至内部空间；加热部件，配置在所述蒸发室的内部，所述液状的蒸镀材料被吐出至该加热部件；隔热部件，配置在所述吐出室和所述蒸发室之间，由隔热材料形成；以及冷却机构，设置在所述吐出室，其中，所述供给装置具有配置有所述液状的蒸镀材料的箱和连接至所述箱且配置在所述吐出室的内部的吐出头，在所述吐出头设有吐出口，从所述箱将所述液状的蒸镀材料供给至所述吐出头，并且，所述液状的蒸镀材料作为液滴而从所述吐出口向所述蒸发室内部空间被吐出，所述液滴着陆于所述加热部件并蒸发，用于所述蒸镀材料的溶剂以分子量小于所述有机材料的酒精为主成分，溶剂的蒸气压大于所述有机材料的蒸气压，在所述真空槽，连接有对所述真空槽进行真空排气的真空排气系统，将配置于所述真空槽的内部的基板的表面的温度和所述真空槽的内部的真空氛围设定成，所述有机材料在所述基板的表面析出，所述溶剂的蒸气不析出而被进行真空排气。