一种基于附壁效应的无阀压电泵

摘要

本实用新型涉及微流体传输与控制以及微机械技术领域，特指一种基于附壁效应的无阀压电泵。本实用新型采用的技术方案是：包括泵体、泵盖和压电振子，泵体和泵盖键合，压电振子固定于泵盖上方，泵盖上设置泵进口和泵出口，泵体上设置泵腔、进口腔、出口腔以及三通管；进口腔与泵进口连通，出口腔与泵出口连通，三通管的两分流管分别为进口流管和出口流管，进口流管与进口腔连通，出口流管和出口腔连通，三通管的汇流管为平面锥管，与泵腔连通，其特征在于：汇流管最小截面处靠近出口流管的管壁与泵腔为圆角过渡连接，靠近进口流管的管壁与泵腔为尖角连接。本实用新型的有益效果是：结构简单，易于微型化，泵的容积效率可达50%以上。

主权项

一种基于附壁效应的无阀压电泵，包括泵体、泵盖和压电振子，泵体和泵盖键合，压电振子固定于泵盖上方，泵盖上设置泵进口和泵出口，泵体上设置泵腔、进口腔、出口腔以及三通管；进口腔与泵进口连通，出口腔与泵出口连通，三通管的两分流管分别为进口流管和出口流管，进口流管与进口腔连通，出口流管和出口腔连通，三通管的汇流管为平面锥管，与泵腔连通，其特征在于：汇流管最小截面处靠近出口流管的管壁与泵腔为圆角过渡连接，靠近进口流管的管壁与泵腔为尖角连接。