晶圆在支撑座上对准的装置、方法及系统

摘要

本发明是关于一种放置一晶圆于一可旋转吸盘支撑座上的装置、系统及方法，以改善晶圆制造不同阶段中的晶圆光刻胶边缘移除宽度及轮廓的准确性。此装置、系统和/或方法可以使用一个或多个晶圆位置计算器以计算该晶圆的该预期位置且提供给一晶圆传送手臂控制器；且晶圆传送手臂控制器与晶圆位置计算器沟通以提供根据该预期的晶圆位置而调整该晶圆与该支撑座的相对位置的信息。也可以使用许多不同的感应侦测器及感应光源或是其他的机制以感应一晶圆的位置。

主权项

一种放置一晶圆于一支撑座上的装置，其特征在于，包含：一传感器光源位于该支撑座的附近；一感应侦测器于该支撑座的附近；其中该感应侦测器操作用来决定晶圆位置信息。