触摸面板的布线结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种触摸面板的布线结构，即使对于布线图案上的绝缘覆层进行干式蚀刻来形成连通孔，在连通孔内也可让布线图案与连结用图案可靠地电连接。本发明的技术手段是，在金属布线图案的至少一部分上层叠氧化金属薄膜层以形成布线图案，让氧化金属薄膜层面向连通孔的内底面，所以金属布线图案并不会在进行干式蚀刻的工序时被氧化因而发生劣化现象。

主权项

一种触摸面板的布线结构，其特征在于，具有：被配置在绝缘基板的平面上且与形成在所述平面上的传感器电极和外部连接部电连接的布线图案；横穿过传感器电极与布线图案之间的导电图案；覆盖导电图案与布线图案的绝缘覆层；以及连结用图案，该连结用图案隔着绝缘覆层跨过导电图案且一侧连接到传感器电极，另一侧利用形成在布线图案上的绝缘覆层的连通孔来与布线图案电连接，所述布线图案是通过在金属布线图案的至少一部分上具有氧化金属薄膜层而形成的，在所述连通孔内，所述连结用图案连接到所述氧化金属薄膜层。