提高掩模板开口位置精度的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种提高掩模板开口位置精度的方法，通过CCD扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔的相对坐标（x、y），通过坐标（x、y）确定掩模板中心点o，并将其坐标设定为（0、0），自动生成x、y坐标轴，通过CCD扫描掩模板图形区域开口，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标（xn、yn），将坐标（xn、yn）与蒸镀图形象素对比，若坐标值偏差超出±5μm，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在±5μm；本发明涉及一种提高掩模板开口位置精度的方法及其装置，能以更高的精度、在更短的时间内调整掩模板，使其图形开口的位置精度偏差控制在±5μm。

主权项

一种提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，具体步骤包括：将掩模板固定在具有固定作用的基台上；通过CCD扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔的相对坐标（x、y）；通过坐标（x、y）确定掩模板中心点o，并将其坐标设定为（0、0），自动生成x、y坐标轴；通过CCD扫描掩模板图形区域开口，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标（xn、yn）；将坐标（xn、yn）与蒸镀图形像素对比，若坐标值偏差超出±5μm，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在±5μm。