发明名称 相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法
摘要 相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法涉及光学测试过程中系统误差的标定领域,该方法包括如下步骤:将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上,旋转精密调整机构360°,进行等间隔旋转测量,获得相应波前的测量结果;将波前测量的结果进行平均运算,该平均结果中不含有被测波前的旋转非对称误差信息;将每次旋转后的波前测量结果分别减去中获得平均结果,以获得该旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息:将获得的每个旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息进行坐标修正,将其统一到同一坐标系下进行平均,获得被测试波前中旋转非对称误差信息,抑制随机误差。本发明通过该方法消除光学放大系统引入的旋转非对称误差。
申请公布号 CN103207022A 申请公布日期 2013.07.17
申请号 CN201310086087.4 申请日期 2013.03.18
申请人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明人 马冬梅;邵晶
分类号 G01J9/00(2006.01)I 主分类号 G01J9/00(2006.01)I
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人 张伟
主权项 相位复原测试过程中消除旋转非对称误差的标定方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤一:将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上,以穿过光学放大系统的主光线为轴旋转精密调整机构360°,等间隔旋转采集图像进行测量,所采集的图像以传感器坐标系为基准坐标系分别获得相应的波前测量结果;步骤二:将步骤一中波前测量的结果进行平均运算,该平均结果中不含有被测波前的旋转非对称误差信息;步骤三:将步骤一中每次旋转后的波前测量结果分别减去步骤二中获得平均结果,以获得步骤一中旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息;步骤四:将步骤三中获得的每个旋转状态下被测试波前的旋转非对称误差信息进行坐标修正,将其统一到同一坐标系下取平均值,这个平均值即为被测试波前中旋转非对称误差信息。
地址 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
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