一种适于导片的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种适于导片的石英舟，包括支撑框架和安装于支撑框架上的取舟套筒，所述支撑框架包括两端面板以及一对相互平行的上槽棒和一对相互平行的下槽棒，所述上槽棒和下槽棒上均开有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒的卡槽设置在上槽棒的内侧面，所述下槽棒的卡槽设置在下槽棒的上表面，所述上槽棒的卡槽和下槽棒的卡槽均为倾斜设置的V型槽，以端面板为基准面，该V型槽的倾斜角度α为2°~5°，槽深为3mm~4mm，槽底宽度为1mm~1.5mm，两槽壁的夹角β为20°~30°。本实用新型可使硅片稳固卡插在卡槽内，同时也降低了插片难度，降低了插片时或自动导片设备导片时的碎片率，从而提高硅片扩散工艺中的扩散品质。

主权项

一种适于导片的石英舟，包括支撑框架（1）和安装于支撑框架（1）上的取舟套筒（2），所述支撑框架（1）包括两端面板（13）以及一对相互平行的上槽棒（11）和一对相互平行的下槽棒（12），所述上槽棒（11）和下槽棒（12）均开有用于卡插硅片的卡槽，所述上槽棒（11）的卡槽（111）设置在上槽棒（11）的内侧面，所述下槽棒（12）的卡槽（121）设置在下槽棒（12）的上表面，其特征在于：所述上槽棒（11）的卡槽（111）和下槽棒（12）的卡槽（121）均为倾斜设置的V型槽，以端面板（13）为基准面，所述V型槽的倾斜角度α为2°～5°，槽深为3mm～4mm，槽底宽度为1mm～1.5mm，两槽壁的夹角β为20°～30°。