液晶显示装置及该液晶显示装置的阵列基板的制造方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示装置及该液晶显示装置的阵列基板的制造方法。该液晶显示装置包括一基板，该基板的表面形成有多个阵列排布的像素单元，每一像素单元包括反射区，该反射区中设置无机绝缘层，并且该无机绝缘层的靠近该液晶显示装置的液晶层一侧的表面上形成多个表面呈曲面的凸起。本发明的液晶显示装置能够增加开口率以提高显示特性，并且制造成本低、反射率高。

主权项

一种液晶显示装置的阵列基板的制造方法,包括如下步骤：提供一基板，该基板包括反射区，在该基板的反射区形成薄膜晶体管；在该反射区和该薄膜晶体管的表面覆盖无机绝缘层；在该反射区的无机绝缘层的表面需要形成凸起的位置覆盖光阻；向该无机绝缘层提供刻蚀气体，并进行刻蚀，以使该无机绝缘层覆盖有该光阻的部分形成表面呈曲面的凸起；所述刻蚀气体为六氟化硫和氧气，并且氧气与六氟化硫的流量比在3‑10之间；刻蚀功率密度为0.4－0.6瓦/平方厘米；刻蚀压力为30－60mT。