一种碳化硅晶体生长用的石墨籽晶坩埚盖

摘要

本实用新型涉及碳化硅晶体领域，特别涉及一种碳化硅晶体生长用的石墨籽晶坩锅盖，所述的碳化硅晶体生长用的石墨籽晶坩锅盖包括设置于所述石墨籽晶坩锅盖内、位于石墨籽晶坩锅盖顶部的籽晶，还包括石墨纸，所述的石墨纸贴覆于所述石墨籽晶坩锅盖的两侧内壁。本实用新型在冷却过程缓冲石墨对晶体的挤压，从而大幅度降低晶体内的应力，在原位退火过程中，可以加快降温速度，缩短降温时间，既缩短生长周期又减少了能耗；缩短晶体生长结束后的退火时间，简化退火工艺；减少晶体研磨、切片等工艺的碎裂。

主权项

一种碳化硅晶体生长用的石墨籽晶坩锅盖，包括设置于所述石墨籽晶坩锅盖内、位于石墨籽晶坩锅盖顶部的籽晶，其特征在于，还包括石墨纸，所述的石墨纸贴覆于所述石墨籽晶坩锅盖的两侧内壁。