| 发明名称 |
CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITION COMPRISING POROUS METAL-ORGANIC FRAMEWORK MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2152826(B1) |
申请公布日期 |
2013.07.17 |
| 申请号 |
EP20080759834 |
申请日期 |
2008.05.21 |
| 申请人 |
BASF SE |
发明人 |
SCHUBERT, MARKUS;THATE, SVEN |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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