| 摘要 |
Prüfvorrichtung (1) zur elektrischen Prüfung eines elektrischen Prüflings (2), insbesondere eines Wafers, mit einem Prüfkopf (4), in dem wenigstens ein Prüfkontakt (5) zur elektrischen Berührungskontaktierung des Prüflings (2) gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Wandung (15) des Prüfkopfs (4) zumindest eine Auslassöffnung (13) zur Ausbringung eines Gases, insbesondere eines Schutzgases, in einen Kontaktierbereich (14) vorgesehen ist.
|
