晶圆滚摆装置

摘要

一种晶圆滚摆装置，包括槽体、抵触单元及磁性连接机构，抵触单元可转动及上下摆动的设置于槽体内，磁性连接机构具有第一磁吸单元及第二磁吸单元，第一磁吸单元设置于槽体的外部，第二磁吸单元设置于槽体的内部，第一磁吸单元及第二磁吸单元以磁力相磁吸连接；藉此，能使晶圆同时进行转动及上下摆动，可得到较佳的蚀刻均匀度。