| 摘要 |
在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极之电路图案检查装置中，随着检查对象导电图案的微细化的进展，所得到的检查信号值变小，而不易判断缺陷。因此，本发明的电路图案检查装置，系将具备隔开一间隔成对配置的两组感测器的检查部移动，同时藉由电容耦合对各导电图案施加由交流信号所构成的检查信号，并且藉由电容耦合检测已传输导电图案的检查信号，藉由一次移动的检查分别自各导电图案检测出检查信号，再将该等检测信号与判断基准值进行比较，而选出缺陷候补，使在各检查信号中导电图案的位置一致，并比较缺陷候补彼此，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。 |
