增进传送器之传送效能的设备与方法

摘要

本发明揭示一种用于使用复数个支撑元件传送及凖确地运输一大致平整物体之系统及方法。该系统包括：复数个布置于一个或多个驱动单元中之真空预载驱动轮，每一驱动单元均包括至少一个真空预载驱动轮；一个或多个真空埠，其毗邻该等真空预载驱动轮之每一者位于一个或多个对面板上，用于将所引起之下压力施加于该物体上。每一驱动单元之真空埠皆流体连接至一具有可控制阀之通至一真空源之主真空管。当主真空管连接至一真空源时，该物体与该真空预载驱动轮之间的法向力增加，且相应地该横向驱动力增加。