发明名称 Halbleiterdiode und Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiterdiode
摘要 Es wird eine Halbleiterdiode bereitgestellt. Die Halbleiterdiode enthält einen monokristallinen Siliziumhalbleiterkörper (40), der ein erstes Halbleitergebiet (1) von einem ersten Leitfähigkeitstyp, das sich zu einer ersten Oberfläche (101) des Halbleiterkörper (40) erstreckt und eine erste maximale Dotierkonzentration aufweist, und ein zweites Halbleitergebiet (2) von einem zweiten Leitfähigkeitstyp, das mit dem ersten Halbleitergebiet (1) einen pn-Übergang (14) ausbildet, enthält. Die Halbleiterdiode enthält weiterhin ein polykristallines Siliziumhalbleitergebiet (10A, 11) vom ersten Leitfähigkeitstyp mit einer zweiten maximalen Dotierkonzentration, die höher ist als die erste maximale Dotierkonzentration, und an das erste Halbleitergebiet (1) auf der ersten Oberfläche (101) angrenzend, eine auf dem polykristallinen Siliziumhalbleitergebiet (10A, 11) angeordnete und mit dem polykristallinen Halbleitergebiet in elektrischem Kontakt stehende erste Metallisierung (6) und eine Randabschlussstruktur (1b, 9, 10b–d), die bei dem ersten Halbleitergebiet (1) angeordnet ist. Weiterhin wird ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterdiode bereitgestellt.
申请公布号 DE102013100219(A1) 申请公布日期 2013.07.11
申请号 DE201310100219 申请日期 2013.01.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SENG, PHILIPP;MAUDER, ANTON;SCHULZE, HANS-JOACHIM
分类号 H01L29/868;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/329 主分类号 H01L29/868
代理机构 代理人
主权项
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