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Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung zur Manipulation von Mikrobauteilen, bei der eine erste Bewegungseinrichtung (1) für ein Werkzeug (17) und eine von dieser entkoppelte, zweite Bewegungseinrichtung (2) vorgesehen sind, so dass eine Bewegung des Werkzeugs (17) zu einem Werkstück in drei translatorischen Freiheitsgraden (X, Y, Z) und drei rotatorischen Freiheitsgraden (φ,ψ,θ) durchführbar ist, wobei die Freiheitsgrade (X, Y, Z,φ,ψ,θ) seriell miteinander koppelbar sind, wobei zusätzlich zumindest zwei Bilderfassungsvorrichtungen (34) vorgesehen sind, die in unterschiedlichen Projektionsebenen derart angeordnet sind, dass der Arbeitsraum stets visuell kontrollierbar ist, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Handhabungsvorrichtung für jeweils einen Freiheitsgrad (X, Y, Z,φ,ψ,θ) genau eine Achse aufweist und eine kinematische Kette der Bewegung in den translatorischen (X, Y, Z) und rotatorischen (φ,ψ,θ) Freiheitsgraden auf die erste und zweite Bewegungseinrichtung (1, 2) aufgeteilt ist, so dass die Auflösung der translatorischen Bewegung≤1μm und die Auflösung der rotatorischen Bewegung≤1' beträgt, wobei die erste Bewegungseinheit (1) eine Bewegung des Werkzeuges (17) in einem translatorischen Freiheitsgrad (Z) und zwei rotatorischen Freiheitsgraden (ψ,θ) ermöglicht und der Schnittpunkt der beiden Rotationsachsen (ψ,θ) sich in dem Arbeitspunkt in einem Arbeitsraum befindet, und die zweite Bewegungseinrichtung (2), die eine Auflage für das Werkstück aufweist, eine Bewegung des Werksktücks in zwei translatorischen Freiheitsgraden (X, Y) und einem rotatorischen Freiheitsgrad (φ) ermöglicht.
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