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发明名称 FILM-FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20130080034(A) 申请公布日期 2013.07.11
申请号 KR20137007486 申请日期 2011.11.15
申请人 ULVAC, INC. 发明人 HAYASAKA TOMOHIRO;TAKAHASHI KOJI;KUBO MASASHI;NAGASHIMA MASAHIRO
分类号 C23C14/50;H01L21/205;H01L21/683 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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