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<p>Bei einer Beschleunigungsröhre, bei der ein leitfähiger Isolator verwendet wird, besteht die Möglichkeit einer ungleichmäßigen Dotierstoffkonzentration an einer Oberfläche des leitfähigen Isolators, wodurch der Oberflächenwiderstand des leitfähigen Isolators ungleichmäßig wird. Auch in diesem Fall ist es erforderlich, die Potentialverteilung an einer inneren Oberfläche in vertikaler Richtung unabhängig von der Umfangsrichtung gleichmäßig zu halten. An der inneren Oberfläche der von dem leitfähigen Isolator gebildeten Beschleunigungsröhre wird in mehreren Abschnitten eine in Umfangsrichtung verlaufende Rille ausgebildet und es wird Metall entlang der inneren Bereiche der Rillen aufmetallisiert. Das Potential des metallisierten Bereichs an der inneren Oberfläche der Beschleunigungsröhre nimmt selbst dann einen festen Wert an, wenn sich der Widerstand eines bestimmten Bereichs an der Oberfläche der Beschleunigungsröhre vom Widerstand eines den bestimmten Bereich umgebenden Gebiets unterscheidet, und infolgedessen kann die Potentialverteilung an der inneren Oberfläche der Beschleunigungsröhre in vertikaler Richtung unabhängig von der Umfangsrichtung im Wesentlichen gleichförmig gehalten werden. Im Ergebnis wirkt keine lateral gerichtete Kraft auf einen entlang der Zentralachse verlaufenden Elektronenstrahl ein, und ein Potentialgradient kann auf einem in etwa feststehenden Niveau gehalten werden, so dass eine kleine Aberration erzielt werden kann.</p> |
