HERSTELLUNG VON METALL-HARTMASKEN

摘要

Die vorliegende Offenbarung stellt Verfahren zum Herstellen einer Metall-Hartmaske und eine durch solche Verfahren hergestellte Metall-Hartmaske bereit. Ein Verfahren umfasst Einströmen mindestens eines Metall-Reaktionsmittelgases in eine Reaktionskammer, dazu ausgerichtet, eine chemische Gasabscheidung (CVD) durchzuführen, wobei das mindestens eine Metall-Reaktionsmittelgas ein Metall-Halogen-Gas oder ein metall-organisches Gas enthält. Das Verfahren umfasst ferner Abscheiden einer Hartmasken-Metallschicht durch CVD unter Verwendung des mindestens einen Metall-Reaktionsmittelgases.