一种对晶片中心进行定位的光学对中系统及其对中方法

摘要

本发明属于半导体晶片加工过程中晶片精确定位领域，具体地说是一种对晶片中心进行定位的光学对中系统及其对中方法，对中系统中X轴移动伺服控制系统安装在底板上，Y轴移动伺服控制系统设置在X轴移动伺服控制系统上；晶片通过真空吸盘安装在Y轴移动伺服控制系统上，具有沿X轴和Y轴的轴向往复移动的自由度；对射式激光传感器安装在底板上、位于所述晶片的上方；方法为通过对射式激光传感器实现对晶片中心的精确定位，通过对射式激光传感器的扫描可以准确的确定晶片的中心位置，通过X、Y轴移动伺服控制系统控制晶片运动，使晶片的实际中心与理论中心重合。本发明对中系统结构简单可靠，控制精度高，运动平稳；方法易操作，计算准确。

主权项

一种对晶片中心进行定位的光学对中系统，其特征在于：包括对射式激光传感器(1)、真空吸盘(3)、Y轴移动伺服控制系统(4)、X轴移动伺服控制系统(5)及底板(6)，其中X轴移动伺服控制系统(5)安装在底板(6)上，Y轴移动伺服控制系统(4)设置在X轴移动伺服控制系统(5)上；需对中的晶片(2)通过真空吸盘(3)安装在Y轴移动伺服控制系统(4)上，具有沿X轴和Y轴的轴向往复移动的自由度；所述对射式激光传感器(1)安装在底板(6)上、位于所述晶片(2)的上方。