强化型扩散板及其制造方法

摘要

一种强化型扩散板及其制造方法，该制造方法包含一成形加工步骤、一清洗步骤、一冲压步骤、一表面处理步骤及一清洁步骤，所制成的强化型扩散板包含一用以连接于一镀膜设备的设置板上的连接部、一连接连接部的弯折部，及一连接弯折部的底板部，底板部上形成有多个贯穿孔。弯折部、连接部、底板部相配合界定出一分流室，且底板部由与弯折部连接处朝并向分流室方向弧形凸出隆起。藉由该底板部的结构设计，能降低底板部受热弯曲的形变量，且此强化型扩散板能重复再生使用，故能降低耗材成本。

主权项

一种强化型扩散板，设置于一镀膜设备的设置板上，该强化型扩散板包含：一连接部，用以连接于该镀膜设备的设置板上；一弯折部，连接该连接部；及一底板部，连接该弯折部，该底板部上形成有多个贯穿孔，该底板部与该连接部、该弯折部共同界定出一分流室，且该底板部是由与该弯折部连接处朝中央并向该分流室方向弧形凸出隆起。