光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法

摘要

一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、能量线性度和频率线性度进行高精度测量；本发明具有测量方法简单、易实现，成本低的特点。

主权项

一种光刻机能量传感器的性能测量装置，特征在于其构成包括光源（1）、起偏器（2）、分束镜（3）、测量光衰减片（4）、转动控制器（8）、待测能量传感器（5）、参考光衰减片（6）、参考能量传感器（7）、多功能信号处理卡（9）和计算机（10），上述元部件的位置关系如下：在所述的光源（1）输出光束方向依次是所述的起偏器（2）、分束镜（3）、测量光衰减片（4）、待测能量传感器（5），所述的分束镜（3）与所述的光束成45°夹角，在所述的分束镜（3）的反射光方向依次是所述的参考光衰减片（6）和参考能量传感器（7），所述的测量光衰减片（4）固定在所述的转动控制器（8）转动轴上，所述的多功能信号处理卡（9）的输入端分别与所述的待测能量传感器（5）的输出端和参考能量传感器（7）的输出端相连，所述的多功能信号处理卡（9）的第一输出端与所述的转动控制器（8）控制端相连，所述的多功能信号处理卡（9）的第二输出端与所述的计算机（10）的输入端相连。