| 发明名称 |
一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置 |
| 摘要 |
本发明系提供一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，通过等高柱凹槽设计将加热器均温板扣固在等高柱凹槽内，取代以螺丝固定方式，锁固在一固定源上，有效避免加热器均温板因加热时产生的膨胀变形量无法伸缩的现象，导致加热器均温板变形。 |
| 申请公布号 |
CN103194732A |
申请公布日期 |
2013.07.10 |
| 申请号 |
CN201210000946.9 |
申请日期 |
2012.01.05 |
| 申请人 |
吉富新能源科技(上海)有限公司 |
发明人 |
周文彬;刘幼海;刘吉人 |
| 分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种PECVD沈积设备加热器均温板固定装置，其包括等高柱本体及凹槽组成。 |
| 地址 |
201707 上海市青浦区北青公路8228号三区8号4幢 |
