晶棒表面之调质方法及其晶棒

摘要

一种晶棒表面之调质方法，包含以下步骤：步骤一：提供一晶棒，并以一盖体罩盖该晶棒；步骤二：利用一加热单元将该晶棒加热至一预定温度并持温一段时间；及步骤三进行一冷却步骤，以将该晶棒冷却；其中，该盖体至少具有一部分的透明区域，使该加热单元的热辐射透过该透明区域而对该晶棒进行加热，藉此，晶棒表面的损伤层可藉由此一退火制程而加以消除。

主权项

一种晶棒表面之调质方法，包含以下步骤：提供一晶棒，并以一盖体罩盖该晶棒；利用一加热单元将该晶棒之至少一表面加热至一预定温度并持温一段时间，同时利用一冷却单元针对不需改质的该晶棒的其它表面进行控温；以及进行一冷却步骤，以将该晶棒冷却；其中，该盖体至少具有一部分的透明区域，使该加热单元的热辐射透过该透明区域而对该晶棒进行加热。