激光扫描振镜用的逆向抑制温度漂移装置

摘要

本实用新型公开了一种激光扫描振镜用的逆向抑制温度漂移装置，涉及激光加工设备技术领域，包括：安装于所述激光扫描振镜的安装基体外侧的TEC制冷片，所述TEC制冷片的制热工作面与所述安装基体的表面贴合；安装于所述安装基体上用于检测安装基体的温度的温度传感器；用于控制所述TEC制冷片对所述安装基体进行加热并保持所述安装基体温度恒定的温控装置，所述温度传感器和所述TEC制冷片分别电连接所述温控装置。本实用新型激光扫描振镜用的逆向抑制温度漂移装置解决了现有技术中自冷式激光扫描振镜位置精度低的技术问题。安装有本实用新型激光扫描振镜具有位置精度高，体积小巧，价格低廉等优点，可适用于位置精度要求高的场合。

主权项

激光扫描振镜用的逆向抑制温度漂移装置，其特征在于，包括：安装于所述激光扫描振镜的安装基体外侧的TEC制冷片，所述TEC制冷片的制热工作面与所述安装基体的表面贴合；安装于所述安装基体上用于检测安装基体的温度的温度传感器；用于控制所述TEC制冷片对所述安装基体进行加热并保持所述安装基体温度恒定的温控装置，所述温度传感器和所述TEC制冷片分别电连接所述温控装置。