一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构

摘要

本实用新型公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。与现有技术中钨制网带提供的均匀热场结构相比，本实用新型实施例提供的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为底部加热器的发热元使用，其优势是较小的长度能提供比较大的电阻值，同时具有相当的柔韧度，并能在较小的空间能进行弯曲，使其能够根据热场需要加工成适应的形状，产生比较理想的径向和轴向温度梯度，为大规格尺寸蓝宝石晶体生长创造有利的热场条件；另一方面，与钨制网带相比有相当大的价格优势，更重要的是加工制作容易。

主权项

一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，采用双螺旋钨丝（1）作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。