能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置

摘要

本发明涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置。该装置在内导流筒或外导流筒的下沿处设置通孔，通孔中活动安装一根石英棒，该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：(1)石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒或外导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或(2)石英棒的下部末端收回至内导流筒或外导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动。本发明可以直观的测量硅熔液面与导流筒的间距，不需要操作者凭经验判断；可实时监测熔液面位置，为操作者提供控制液面位置依据；可伸缩或旋转的设计使石英棒在操作过程中不易损坏。

主权项

能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置，在硅单晶炉热场的下保温盖中间的孔内设置用于引导保护气体的内导流筒和外导流筒，内导流筒与外导流筒的上沿、内导流筒与外导流筒的下沿分别相接形成闭合的接触缘；其特征在于，所述下保温盖中间的孔是圆孔，所述内导流筒与外导流筒的上沿、内导流筒与外导流筒的下沿分别相接所形成闭合的接触缘是环形的；外导流筒与下保温盖之间呈环形紧密连接；在内导流筒的下沿处设置通孔，通孔中活动安装一根L形石英棒；组成L形的一段为固定段，另一段为测量段；所述通孔开设于内导流筒下沿的侧壁上；石英棒的固定段活动安装于该通孔中，而测量段能够以该固定段为水平回转轴在竖直平面上作360°旋转；所述通孔为“一”字形长通孔，活动安装于通孔中的石英棒固定段的端头具有上下相对设置的凸出部；该凸出部的存在，使得固定段的端头在测量段呈竖直状态时不能滑出通孔，而只能在测量段呈水平状态时才能从通孔中进出；该石英棒相对于通孔的位置变化使其能具备下述两种状态：（1）石英棒的下部末端垂直向下伸出内导流筒的下沿以作为测量距离的标尺；或，（2）石英棒的下部末端收回至内导流筒的最下缘之上以便于单晶炉热场装置的移动。