牺牲组合物、其应用以及分解方法

摘要

本发明提供聚合物、其应用方法、以及其分解方法。其中一种聚合物实例包括含有牺牲聚合物以及光产酸源的组合物。

主权项

一种制备构件的方法，其包括：将牺牲组合物设置于表面上，其中所述牺牲组合物包含牺牲聚合物以及光产酸源；将掩膜设置于所述牺牲组合物之上；将所述牺牲组合物暴露于通过所述掩膜的光能以形成所述牺牲组合物的暴露部分和未暴露部分；在第一温度对所述牺牲组合物进行第一次加热，所述第一温度足以只使所述暴露部分热分解，从而形成基体的露出部分；在所述牺牲组合物的所述未暴露部分和所述表面的所述露出部分上形成罩面层；和在第二温度将所述牺牲组合物和所述罩面层进行第二次加热，所述第二温度足以只使所述牺牲组合物的所述未暴露部分热分解以在所述罩面层内形成空气区域。