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发明名称
摘要
申请公布号 JP5231772(B2) 申请公布日期 2013.07.10
申请号 JP20070218451 申请日期 2007.08.24
申请人 发明人
分类号 H01L27/12;G02F1/1333;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/762;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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