扫描型探针显微镜的探针形状评价方法

摘要

本发明涉及扫描型探针显微镜的探针形状评价方法，用于在扫描型探针显微镜评价探针顶端形状。利用拥有针状构造的探针形状检测样本来测定探针顶端形状，求出从顶端起的多个距离处的剖面的半径，基于这些而算出将探针顶端形状近似为圆时的曲率半径。

主权项

一种探针形状评价方法，利用扫描型探针显微镜对探针的顶端形状进行形状测定而进行该探针的顶端的尖锐度的评价，其特征在于，包括：接近工序，使所述扫描型探针显微镜所具备的所述探针的顶端相对于相对配置的评价用试样的表面而相对地接触或接近至规定间隔；扫描工序，使作用于所述探针的顶端和所述评价用试样的表面之间的物理量为一定并同时进行规定的扫描；数据取得工序，取得所述评价用的试样的表面形状；数据提取工序，对于以所述取得的数据之中的从所述探针顶端下降的中心轴上的规定的高度(h)和该高度处的所述中心轴至测定的形状的外缘的距离(r)作为一组的数据组，提取变更所述高度(h)后的2组以上；以及计算工序，利用该提取数据的所述高度(h)和所述距离(r)来计算将所述探针的顶端近似为球状的情况下的曲率半径(Rtip)。