柱面面型检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种柱面面型检测系统及方法，所述系统包括干涉仪、会聚的透射球面、计算全息元件、空间滤波器及待测柱面，所述干涉仪、会聚的透射球面和计算全息元件依次沿干涉仪光轴放置，所述空间滤波器和待测柱面依次离轴置于所述计算全息元件后。本发明结构简单，加工难度低，抗干扰能力强，计算全息元件的最小刻划间隔大，检测精度高。

主权项

一种柱面面型检测系统，其特征在于，所述系统包括干涉仪、会聚的透射球面、计算全息元件、空间滤波器及待测柱面，所述干涉仪、会聚的透射球面和计算全息元件依次沿干涉仪光轴放置，所述空间滤波器和待测柱面依次离轴置于所述计算全息元件后，其中：所述干涉仪，用于生成平行光束、滤除像面干扰级次、接收并处理干涉图像，所述干涉图像为检测光和参考光形成的干涉图像，所述检测光为会聚光束透过计算全息元件衍射的衍射光经待测柱面表面反射，按原路返回再经计算全息图衍射的衍射光；所述会聚的透射球面，用于将部分平行光束调整为会聚光束，还用于反射部分平行光束作为参考光；所述计算全息元件，用于对会聚光束产生衍射，还用于对经待测柱面表面反射，并按原路返回的光束产生衍射；所述空间滤波器，用于滤除经计算全息元件衍射的光束交线面上的干扰杂散光。