火棉胶薄膜的图形化方法

摘要

本发明公开了一种镀制在衬底上的火棉胶薄膜的图形化方法。该方法包括如下步骤：利用薄膜沉积方法在火棉胶薄膜上沉积一种容易腐蚀的掩模层；利用微加工技术中的光刻、显影、腐蚀等方法把该掩模层进行处理，获得所需要火棉胶薄膜图形的掩模层图形；利用丙酮去除暴露出来的火棉胶薄膜，再利用掩模层材料腐蚀液腐蚀掉表面的掩模层，最终获得火棉胶薄膜所需要的微小图形。该方法能够精细地制作出火棉胶薄膜的微纳图形，而且具有所用材料成本低，方法简单，操作方便等优点，解决了目前火棉胶薄膜的图形化难题。

主权项

火棉胶薄膜的图形化方法，其特征在于：包括以下步骤：    1）在火棉胶薄膜上沉积一种容易腐蚀的掩模层；    2）采用光刻、显影的方法在掩模层上面制作所需图形的光刻胶图形；    3）采用化学溶液腐蚀的方法腐蚀掩模层，获得所需图形的掩模层图形；    4）利用丙酮腐蚀去除掩模层上面的光刻胶以及没有掩模层部分的火棉胶薄膜，再利用掩模层腐蚀液去除剩余的掩模层，获得火棉胶所需的图形。