干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置

摘要

干涉仪（1）基于参照光检测器（25）的检测结果来检测移动镜（16）的位置，并且对测定干涉光进行计测，参照光源（21）构成为包含由半导体激光器构成的光源（21a）。参照光学系统（20）具有将从参照光源（21）射出的激光变换成准直光的参照光用准直光学系统（22），上述准直光相对固定镜（15）倾斜入射。

主权项

一种干涉仪，具有：测定光学系统，其利用光束分光器将测定光分离并导向移动镜以及固定镜，通过上述光束分光器将被上述移动镜以及上述固定镜反射的各光叠加，将叠加而得到的测定干涉光导向测定光检测器；和参照光学系统，其利用上述光束分光器将来自参照光源的参照光分离并导向上述移动镜以及上述固定镜，通过上述光束分光器将被上述移动镜以及上述固定镜反射的各光叠加，将叠加而得到的参照干涉光导向参照光检测器；上述干涉仪一边基于上述参照光检测器的检测结果来检测上述移动镜的位置，一边对上述测定干涉光进行计测，上述干涉仪的特征在于，上述参照光源由半导体激光器、或者将从上述半导体激光器射出的激光经由波导或者光纤射出的激光源构成，上述参照光学系统具有将从上述参照光源射出的激光变换成准直光的参照光用准直光学系统，上述准直光相对上述固定镜倾斜入射。