发明名称 | 封装件及其形成方法 | ||
摘要 | 一种封装件及其形成方法,包括:在衬底上方形成介电层;在介电层上方形成互连结构;以及接合管芯至互连结构。然后去除衬底,并且使介电层图案化。在介电层的表面形成连接件,其中将连接件电连接至管芯。本发明还提供了一种封装件。 | ||
申请公布号 | CN103199055A | 申请公布日期 | 2013.07.10 |
申请号 | CN201210213755.0 | 申请日期 | 2012.06.25 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 施应庆;卢思维;林俊成 |
分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
主权项 | 一种方法,包括:在衬底上方形成介电层;在所述介电层上方形成互连结构;接合管芯至所述互连结构;去除所述衬底;使所述介电层图案化;以及在所述介电层的表面形成连接件,其中,将所述连接件电连接至所述管芯。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |