发明名称 封装件及其形成方法
摘要 一种封装件及其形成方法,包括:在衬底上方形成介电层;在介电层上方形成互连结构;以及接合管芯至互连结构。然后去除衬底,并且使介电层图案化。在介电层的表面形成连接件,其中将连接件电连接至管芯。本发明还提供了一种封装件。
申请公布号 CN103199055A 申请公布日期 2013.07.10
申请号 CN201210213755.0 申请日期 2012.06.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 施应庆;卢思维;林俊成
分类号 H01L21/768(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I 主分类号 H01L21/768(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种方法,包括:在衬底上方形成介电层;在所述介电层上方形成互连结构;接合管芯至所述互连结构;去除所述衬底;使所述介电层图案化;以及在所述介电层的表面形成连接件,其中,将所述连接件电连接至所述管芯。
地址 中国台湾新竹