一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法

摘要

本发明涉及一种陶瓷表面处理方法，特别是涉及一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法。本发明通过在SiC陶瓷表面注入一定剂量的金属离子，降低金属对SiC陶瓷表面的接触角，改善金属与陶瓷的界面结合，提高SiC陶瓷与金属接触界面的热、电性能，能适用于高低温应用场合，从而使得后续制备的陶瓷/金属钎焊接头、陶瓷/金属复合材料或半导体器件具有高可靠性、使用寿命长等优点。

主权项

一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法，其特征在于，包括下述步骤：（1）SiC陶瓷的磨平、抛光； （2）SiC陶瓷的清洗；（3）离子注入Mo：将上述清洗后的SiC陶瓷置于离子注入装置，用Ar离子再次清洗试样30 min，然后注入Mo离子。