主权项 |
一种铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法,包括待测样品溶液制备、络合显色和吸光度测试及数据处理:(1)待测样品溶液制备:铟镓氮晶片,用稀盐酸和丙酮除油除尘、干燥,准确称量样品,采用碱熔法对铟镓氮样品表面进行刻蚀,用硫酸调节刻蚀液酸度PH值介于2~3之间,定容得到待测样品溶液;(2)络合显色和吸光度测试:依次向待测样品溶液中加入硫酸、碘化钾溶液、硫代硫酸钠溶液和乙基紫溶液,得到铟—乙基紫蓝紫色络合物,用苯萃取有机相得到待测样品络合物溶液,采用分光光度计测定络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度;(3)数据处理:以络合显色铟标准溶液在619±5nm处的吸光度与铟元素含量关系为基准;用待测样品络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度,与铟标准溶液曲线比对,按下式计算得到样品中铟镓氮晶片外延层中铟元素含量: <mrow> <msub> <mi>w</mi> <mi>Al</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>m</mi> <mrow> <msub> <mi>m</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>m</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> </mfrac> <mo>×</mo> <mn>100</mn> </mrow>式中:wIn—铟镓氮外延层中铟元素质量分数;m—分光光度法测量得到的铟元素的质量;m0—铟镓氮晶片的原始质量;m1—刻蚀后铟镓氮晶片的质量。 |