卷绕式真空处理装置

摘要

本发明提供一种卷绕式真空处理装置，其可防止因发热而损坏或绝缘失效的情况出现，因此有利于延长使用寿命。RF电极(6)设置在真空室(15)内。因此，与例如电容耦合器等转动传递单元设置在标准大气压环境中的情况相比，只要真空室(15)内保持着规定的真空度，就能够防止辊子电极(18)和RF电极(6)之间产生绝缘失效的情况。另外，还不存在现有技术中的旋转连接器等转动传递单元因发热而损坏的问题。还有，由于RF电极(6)以隔开辊子电极(18)一定间隔的方式设置，即与辊子电极(18)在非接触状态下接通交流电，所以它们不会因相互接触而磨损，因此这有助于延长电极的使用寿命。

主权项

一种卷绕式真空处理装置，其特征在于，具有：真空室，其内部状态能保持为真空状态；第一电极，其设置在所述真空室内并能转动，通过该转动并保持与质地柔软的被处理对象物接触，从而传送所述被处理对象物；供气单元，其具有在所述真空室内面向所述第一电极设置的第二电极，能向所述被处理对象物以及所述第二电极之间供应处理气体，该被处理对象物与所述第一电极接触；第三电极，其与交流电源连接并且在所述真空室内面向所述第一电极的未与所述被处理对象物接触的部分设置，由所述交流电源向该第三电极与所述第一电极之间施加交流电压，所述真空室具有隔板，该真空室的内部空间被该隔板分隔成两个区域，其中之一区域内设置有所述第二电极、另一区域内设置有所述第三电极，设置有所述第二电极和所述第三电极的各区域内的气压能够分别调整。