一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪

摘要

本发明涉及一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪，其特征在于：它包括一微片激光器，微片激光器的发射端轴线上设置有第一分光镜，第一分光镜的反射光路上设置有第一全反射镜，第一全反射镜反射光路上设置有第二全反射镜，第二全反射镜反射光路上依次设置有第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜，同时第二分光镜在第一分光镜的透射光路上，第二分光镜透射光路上设置有一光电探测器；微片激光器发射的激光经第一分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜构成的环形光路一次回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成参考回馈光；经过环形回路一次的激光经待测物反射再一次经过环形光路回到微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成测量回馈光。本发明可以广泛应用于非配合目标非接触式精确位移测量中。

主权项

一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪，其特征在于：它包括一微片激光器，所述微片激光器的发射端轴线上设置有第一分光镜，所述第一分光镜的反射光路上设置有第一全反射镜，所述第一全反射镜反射光路上设置有第二全反射镜，所述第二全反射镜反射光路上依次设置有第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜，所述第一声光移频器发生+1级衍射的同时，所述第二声光移频器发生‑1级衍射，或所述第一声光移频器发生‑1级衍射的同时，所述第二声光移频器发生+1级衍射；同时所述第二分光镜在所述第一分光镜的透射光路上，所述第二分光镜透射光路上设置有一光电探测器；所述微片激光器发射的激光经所述第一分光镜、第一全反射镜、第二全反射镜、第一声光移频器、第二声光移频器和第二分光镜构成的环形光路一次回到所述微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成参考回馈光，所述参考回馈光的移频量为两个声光移频器驱动频率之差；经过环形回路一次的激光经待测物反射再一次经过环形光路回到所述微片激光器的谐振腔中对激光的输出功率进行调制形成测量回馈光。