一种热电堆红外探测器

摘要

一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，以及形成于钝化层之上的反射层，以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率，并使热电偶对冷端与热端的温度差增大，从而使探测器的响应率变大，灵敏度提高。

主权项

一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，其特征在于，还包括形成于钝化层之上的反射层，所述反射层覆盖于整个热电堆的上方，以及与第一红外吸收层接触且能遮挡所述反射层的第二红外吸收层；其中所述第二红外吸收层包括与第一红外吸收层接触的红外区接触部分以及在反射层上方且不与所述反射层接触的遮阳部分，所述遮阳部分的下表面与反射层上表面之间的距离为入射红外辐射波长的四分之一。