具有用于控制部件温度的机构的等离子处理系统

摘要

公开一种具有改进的部件温度控制的等离子处理系统。该系统可包括具有室壁的等离子处理室。该系统还可包括设在该等离子处理室内部的电极。该系统还可包括设在该等离子处理室内部的支撑构件，用以支撑该电极。该系统还可包括设在该室壁外面的支撑板。该系统还可包括设为穿过该室壁的悬臂，用以将该支撑构件与该支撑板连接。该系统还可包括设在该室壁和该支撑板之间的提升板。该系统还可包括热阻连接机构，用以将该提升板与该支撑板机械连接。

主权项

一种等离子处理系统，用于处理至少一个衬底，该等离子处理系统包括：等离子处理室，包括至少一个室壁；电极，设在该等离子处理室内部并构造为支撑该衬底；支撑构件，设在该等离子处理室内部并构造为支撑该电极；支撑板，设在该室壁外面；悬臂，设为穿过该室壁并构造为将该支撑构件与该支撑板连接；提升板，设在该室壁和该支撑板之间；以及一个或多个热阻机构，构造为将该提升板与该支撑板机械连接。