| 发明名称 | 集成电路测试装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种集成电路测试装置，包括测试平台和位于所述测试平台下方的加热单元，还包括冷却单元，所述冷却单元位于所述加热单元的下方。采用本发明的集成电路测试装置，可以有效加快冷却速度、缩短了冷却时间。从而提高了测试效率，以降低集成电路生产过程中的测试成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103197228A | 申请公布日期 | 2013.07.10 |
| 申请号 | CN201310103894.2 | 申请日期 | 2013.03.27 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 马松 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 郑玮 |
| 主权项 | 一种集成电路测试装置，包括测试平台和位于所述测试平台下方的加热单元，其特征在于，还包括冷却单元，所述冷却单元位于所述加热单元的下方。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 | ||