双面散热的高效大功率半导体激光器

摘要

双面散热的高效大功率半导体激光器，属于半导体光电子技术领域。其包括：从上往下依次纵向层叠的具有散热和高导电导热功能的转移衬底，上散热电极，上重掺接触层，上限制层，有源区，下限制层，下重掺接触层，下散热电极。其在制备过程中引入外延结构。所述的外延结构带有腐蚀停层或带有牺牲层。带有腐蚀停层的外延结构，包括有依次纵向层叠的上重掺接触层，上限制层，有源区，下限制层，下重掺接触层，腐蚀停层，缓冲层，衬底。带有牺牲层的外延结构，包括有依次纵向层叠的上重掺接触层，上限制层，有源区，下限制层，下重掺接触层，牺牲层，缓冲层，衬底。本实用新型器件散热性能好，激光输出功率高，光电特性好。使用寿命长。节约成本。

主权项

双面散热的高效大功率半导体激光器，其特征在于：其包括：从上往下依次纵向层叠的具有散热和高导电导热功能的转移衬底（11），上散热电极（10），上重掺接触层（2），上限制层（3），有源区（4），下限制层（5），下重掺接触层（6），下散热电极（91）。