发明名称 具有角度调节功能的样品托
摘要 一种具有角度调节功能的样品托,包括:一基台,在圆心的直径方向有一条V形固定槽;一角度调节杆,为矩形结构,与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起,该三角凸起与基台上的V形固定槽配合;一弹簧,其一端位于基台上的通孔内,另一端位于角度调节杆上的第一通孔内,该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定;一螺杆,穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。本发明具有一维调节角度功能的样品托,从而与厂家标配的样品台进行配合,实现样品的6维调节功能。
申请公布号 CN103198997A 申请公布日期 2013.07.10
申请号 CN201310093590.2 申请日期 2013.03.22
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 刘媛媛;杨富华
分类号 H01J49/04(2006.01)I 主分类号 H01J49/04(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种具有角度调节功能的样品托,包括: 一基台,为一圆柱体,在圆柱体的一平面上沿着通过圆心的直径方向有一条V形固定槽,与V形固定槽成90度方向且靠近基台边缘处的一侧有一个螺纹通孔,另一侧有一通孔,在该基台的侧壁上有一第一小孔,该第一小孔内插入有一顶针,该第一小孔与通孔连通;在该基台上的V形固定槽的V形开口的下方有一盲孔; 一角度调节杆,为矩形结构,其一端边缘处具有一第一通孔,另一端具有一第二通孔,在角度调节杆端部的侧壁上有一第二小孔,该第二小孔与第一通孔连通,该第二小孔插入有一顶针,与角度调节杆纵向垂直的该角度调节杆下面有一条三角凸起,该三角凸起与基台上的V形固定槽配合; 一弹簧,其一端位于基台上的通孔内,另一端位于角度调节杆上的第一通孔内,该弹簧的两端分别与第一小孔及第二小孔中的顶针固定; 一螺杆,穿过角度调节杆上的第二通孔与基台上的螺纹通孔螺接。
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