纳米复合相变材料、制备方法及其在相变存储器中的应用

摘要

本发明涉及一种纳米复合相变材料及其制备方法、以及在相变存储器中的应用。其中，所述纳米复合相变材料包含：摩尔百分比为70-99%的相变材料GeTe和摩尔百分比为1-30%的介质材料HfO2。相变材料GeTe与介质材料HfO2在纳米尺度内均匀复合，一方面抑制了相变材料的结晶，提升了材料的热稳定性，改善了材料的数据保持能力；另一方面因为介质材料的参与，使得有效编程体积减小，因而减小了相变单元结晶前后的体积变化和降低了RESET电流，这有助于存储器件的操作稳定性和实现低功耗。总之，这种新型纳米复合相变材料应用到存储器中，可使相变存储器件的RESET电压降低，编程体积减小，有利于实现高密度存储，提高相变存储器的编程过程中的加热效率，降低其功耗，提升数据保持能力等。

主权项

一种纳米复合相变材料，其特征在于包括：摩尔百分比为70‑99%的相变材料GeTe，以及摩尔百分比为1‑30%的介质材料HfO2；所述相变材料GeTe和介质材料HfO2在纳米尺度范围内均匀分散，且HfO2中的氧不会氧化GeTe中的元素；所述相变材料GeTe在该复合相变材料中呈纳米级颗粒状，最大颗粒直径小于100纳米。