发明名称 SILICON POLISHING COMPOSITIONS WITH HIGH RATE AND LOW DEFECTIVITY
摘要
申请公布号 EP2611878(A2) 申请公布日期 2013.07.10
申请号 EP20110822449 申请日期 2011.08.30
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 WHITE, MICHAEL;ROMINE, RICHARD;REISS, BRIAN;GILLILAND, JEFFREY;JONES, LAMON
分类号 C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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