压电驱动器及其制造方法

摘要

本发明提供一种压电驱动器及其制造方法，其中，压电驱动器包括长方片形的压电片，所述压电片的极化方向为所述压电片的厚度方向；沿所述压电片厚度方向的不同表面上分别设置有驱动电极层和接地电极层；所述驱动电极层沿长度方向设置有多个电极区域，所述多个电极区域相互之间电隔离；所述压电片长度方向的一端为固定端部，另一端为自由端部，通过控制每个所述电极区域的驱动电压通断，控制所述压电片的自由端部产生线性弯曲位移。本发明无需建立复杂的迟滞模型和闭环反馈系统，便有效的克服了现有压电驱动器存在的非线性和迟滞特性，简化了压电驱动器驱动控制电路的复杂度，降低了压电驱动器的应用成本，并提高了其可靠性。

主权项

一种压电驱动器，其特征在于，包括：长方片形的压电片，所述压电片的极化方向为所述压电片的厚度方向；沿所述压电片厚度方向的不同表面上分别设置有驱动电极层和接地电极层；所述驱动电极层沿长度方向设置有多个电极区域，所述多个电极区域相互之间电隔离；所述压电片长度方向的一端为固定端部，另一端为自由端部，通过控制每个所述电极区域的驱动电压通断，控制所述压电片的自由端部产生线性弯曲位移。